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ドライルーム

本研究のドライルームは露点(-60℃、相対湿度0.04%RH)の乾燥を導入して二人の研究者が在室の状態で露点(-40℃、相対湿度0.5%RH)を保持できる機能を有しています。 この部屋の中でデバイス作業を行います。

 

 

 

 

  

 

 

 

 


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